上海禹轩Y43H-DN150不锈钢减压阀交付昆山电子制造:精准调控高纯度氩气、氮气赋能半导体生产

2025-04-18 10:39:35 上海禹轩阀门 213


近日,上海禹轩阀门有限公司成功向昆山某知名电子制造企业交付一批Y43H-16P-DN150不锈钢减压阀,用于其高纯度氩气、氮气供应系统的压力调控。该产品凭借卓越的调节性能与可靠性,为半导体晶圆制造、显示面板生产等精密工艺提供了稳定气源保障,助力客户提升生产效率和产品质量。

一、项目背景:高纯度气体应用的严苛挑战昆山某电子制造企业专注于半导体及光电领域,其生产工艺对气体纯度(≥99.999%)及压力稳定性要求极高。氩气作为惰性保护气体用于溅射镀膜工艺,氮气则承担设备清洗、气氛保护等关键任务。传统减压阀难以满足大流量、高压差场景下的精密调控需求,极易因压力波动导致工艺中断或产品良率下降。为此,客户亟需一款兼具高调节精度与抗腐蚀性能的减压阀解决方案。

二、Y43H-16P核心优势:为电子制造量身定制

1. 材质可靠,洁净无污染

○ 阀体采用316L不锈钢材质,耐腐蚀性强,避免金属离子析出污染高纯度气体;密封件选用聚四氟乙烯等高洁净材料,满足半导体行业严苛的洁净度标准。

2. 先导活塞结构,精准稳压

○ 产品采用先导活塞式设计,通过导阀与主阀协同调节,实现出口压力±1%的高精度控制。面对进口压力波动(1.6-16MPa),出口压力可稳定维持在0.2-1.6MPa设定值,确保工艺气体压力“零偏差”。

3. 大流量适配,快速响应

○ DN150大口径设计,流量系数Cv达140,可满足电子制造车间连续生产的大流量需求;活塞式结构响应速度快,实时补偿压力变化,避免因压力滞后造成的工艺风险。

4. 安全冗余设计,保障连续生产

○ 配备独立安全阀接口(距出口≥4m),当系统超压时自动泄压;阀体结构符合GB、ANSI双标准,通过壳体压力测试(2.4MPa*),确保长期运行可靠性。

三、应用成效:降本增效,护航精密制造自Y43H-16P减压阀投用以来,客户反馈:

● 气体压力稳定性提升30%,晶圆镀膜均匀性显著提高;

● 设备维护周期延长至12个月,减少因减压阀故障导致的停机损失;

● 远程压力调节功能与可视化压力表设计,大幅降低人工巡检成本。

项目负责人表示:“禹轩减压阀的定制化解决方案,完美匹配了我们产线的复杂需求。其优异的调节性能与稳定表现,为产品良率提升提供了坚实保障。”

四、结语:科技赋能,助力产业升级作为工业流体控制领域专家,上海禹轩始终聚焦客户需求,以技术创新驱动产品迭代。此次Y43H-16P的成功应用,不仅彰显了其在高纯度气体领域的卓越性能,更标志着禹轩在半导体、光电产业配套能力上的重要突破。未来,禹轩将持续深耕精密流体控制技术,为电子制造产业高质量发展注入新动能。

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